Подготовка ниобиевых мишеней и основные области применения! 

Мишени для напыления из сплава молибдена (10%) и ниобия имеют перспективное применение в тонкопленочных солнечных элементах и дисплеях. Однако поглощение кислорода ниобиевым порошком в процессе спекания приводит к высокому содержанию кислорода и низкой плотности спеченных молибден-ниобиевых заготовок. В настоящей работе порошки ниобия с ниобий-углеродным плакирующим слоем были приготовлены методом химической парофазной реакции в атмосфере CH4. Ниобий-углеродный слой не только предотвращает поглощение кислорода, но и может быть полностью израсходован в результате реакции с кислородом при требуемой температуре. Было исследовано влияние метода приготовления, реакционной среды и параметров реакции на свойства ниобий-углеродного слоя, определены оптимальные условия процесса: температура 600 °C, время реакции 270 мин, давление воздуха 0,04 мпа. Морфология поверхности, химический состав, распределение и однородность покрытий были охарактеризованы с помощью сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, электронного микрозондового микроанализа, рамановской спектроскопии и атомно-силовой микроскопии. Содержание кислорода и углерода определяли с помощью анализаторов ONH и CS. Поверхностно-модифицированный порошок ниобия смешивали с порошком молибдена и спекали в вакууме для получения заготовок Mo-10%Nb с содержанием кислорода 190 ppm, углерода 290 ppm и относительной плотностью 93%. Качество этой заготовки было значительно выше, чем у заготовки, приготовленной из порошка ниобия без поверхностного модифицирования.